Fraunhofer HHI, Veeco'nun Sputter Sistemini Seçti

Optik telekom araştırma enstitüsü, lazer yüzey kaplamaları ve mikro optik cihazlar oluşturmak için iyon ışını püskürtme sistemini sipariş ediyor.

HHI, lazer yüzey kaplamaları oluşturmak için Veeco'nun IBS teknolojisini kullanacak.

Veeco Aletleri Spector Ion Beam Sputtering (IBS) sistemini ve Sirius Optik Monitör Sistemini Fraunhofer Enstitüsü Telekomünikasyon(HHI).
Almanya'nın Berlin kentinde bulunan enstitü, bu IBS teknolojisini "lazer yüzey kaplamaları ve diğer mikro optik cihazları geliştirmek ve üretmek için" kullanacağını söylüyor.
Fraunhofer arka uç ve paketleme grubu başkanı Greta Ropers, "Karmaşık mikro optik cihazların geliştirilmesi olağanüstü püskürtme teknolojisi gerektiriyor" yorumunu yaptı.
"Sirius OMS ile birleştirilmiş Veeco'nun Spector sistemi, otomatik, yerleşik bir platformda en yüksek verim ve süreç tekrarlanabilirliğine sahip birinci sınıf cihazlar geliştirmemizi ve üretmemizi sağlayacak."

Optik ince filmler
Spector platformu, müşterilere göre gelişmiş verimlilik ve iş hacmi seviyelerine sahip yüksek kaliteli optik ince filmler üretir. Buharlaştırıcı kaplamalardan farklı olarak, iyon ışını püskürtülmüş ince filmler yüksek enerjilerde biriktirilir ve lazer kaplama uygulamaları için olağanüstü kalınlık kontrolü ve düşük kusur yoğunlukları sağlar. Sirius OMS, geniş bant izleme kontrolünü iyon ışını biriktirilmiş filmlerin stabilitesiyle birleştirerek Spector platform özelliğini geliştirir. .
Veeco'nun Gelişmiş Biriktirme ve Etch (AD&E) işinin başkan yardımcısı ve genel müdürü Dr. Adrian Devasahayam, "Fraunhofer HHI, yeni nesil lazer yüzey kaplamaları ve mikro-optik cihazlar geliştirmede dünya lideri," dedi. "Spector sistemi, hassas optik kaplama ince filmleri için benzersiz kalite ve esneklik sağlıyor ve geliştirme hedeflerini hızlandıracak."
Bu proje için fon sağlandı Forschungsfabrik MikroelektronikMikroelektronik ve nanoelektronik için çapraz konumlu bir araştırma fabrikası, Fraunhofer Grubu içindeki on bir enstitü ile Yüksek Performanslı Mikroelektronik Yenilikleri ve Ferdinand-Braun-Enstitüsü, Leibniz-Institut für Höchstfrequenztechnik. Sistem, Veeco'nun Avrupalı ​​kanal ortağıyla birlikte satıldı,Veonis Technologies.